SK海力士突发!工厂氢氟酸化学物泄露!
栏目:行业动态 发布时间:2021-04-08
据韩媒《朝鲜日报》4月6日报道,SK海力士利川M16工厂3名工人在检查设备的过程中因毒性物质氟酸泄露受伤。M16工厂是此前竣工的DRAM生产工厂。当天上午11点34分时,在京畿道利川市SK海力士 M16工厂5楼的设备进行检查期间,发生氢氟酸泄漏事故。


氟酸是无色毒性氟化氢溶解在水中的挥发性液体。使用于半导体电路绘制Pattern的蚀刻制程中

在这起事故中,一名30岁的工人的胳膊和腿被烧伤,另有两名雇员也因吸入氟酸气体转移至附近医院。据报道,3名均无生命危险。SK海力士表示,此次事故是在对新的M16工厂设备进行检查时发生的,对半导体生产没有影响。


(图片来源:朝鲜日报)


据悉,M16工厂将主要生产DRAM产品,总面积5.7万平方米。在2021年1月,SK海力士在韩国京畿道利川总部举行M16新厂竣工仪式,正式宣布新厂落地。


SK海力士首次在M16配备EUV(极紫外)光刻机,并从今年下半年起生产第四代1α纳米级DRAM产品。未来SK海力士将提高EUV设备利用率,进一步增强存储器半导体相关的先进工程技术领导力。